SKC

邮箱

OA

科研系统

纳米中心编著出版《Nanoimprint lithography》

发布时间：2013-08-28
        近日，纳米中心周伟民博士撰写的《Nanoimprint lithography》（《纳米压印技术》）一书由世界最大的科技出版社之一----德国Springer出版社正式出版发行。该书详细介绍了纳米压印技术的原理、特点、关键技术、工艺及应用，主要涉及压印研究现状、模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺以及压印理论等，着重阐述了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件等领域应用的最新研究成果。（纳米中心）